Um mit ihrer Umgebung in sinnvolle Wechselwirkung treten zu können, brauchen Mikrosysteme sensorische und gegebenenfalls aktorische Fähigkeiten. Für die Wandlung z. B. mechanischer, thermischer, optischer oder chemischer Signale in elektrische Impulse steht eine Vielzahl von physikalischen Effekten und Materialien zur Verfügung, die aber stets für den vorgesehenen Zweck optimiert werden müssen. 

Von besonderem Interesse sind die »smart materials«, z. B. die Piezoelektrika, die sowohl sensorische wie aktorische Funktionen übernehmen können und die in unterschiedlichen Formen, wie z. B. dünnen Schichten, Dickschichten, Einkristallscheiben oder Fasern auch für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) verfügbar werden. In diesem Zusammenhang sind auch neue elektroaktive Polymere (EAP) für aktorische Anwendungen zu nennen.   

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